太阳能发电网讯：3月19-21日Semicon China 2013在上海浦东国际展览中心落幕，东方中科集成科技股份有限公司(以下简称：东方集成)作为Semicon会员单位，同德国SENTECH Instruments GmbH一起向广大新老客户、合作展示我们在半导体行业的各种设备和最新产品，吸引了来自全国各地的客户，上下游合作伙伴及同行的目光。展会获得圆满成功。

东方集成Sentech产品经理郭峰接受杂志记者采访

　　Sentech是一家等离子加工技术设备的全球领导者，研发，生产和销售最先进的等离子刻蚀和沉积系统，最著名的是其独有的平板三螺旋等离子源，基于这一特点可以实现与众不同的低损伤，高速率和低温工艺。本次展会Sentech还推出了最新产品ALD(原子层沉积)和PEALD(等离子增强原子层沉积)。

　　东方集成作为SENTECH在中国地区的总代理，负责SENTECH等离子工艺设备在中国地区的销售和技术支持工作，有超过10年的合作和本地服务经验。东方集成总部设在北京，在上海、南京、苏州、深圳、武汉、西安、成都等地设有分支机构，可为全国各地客户提供快速响应、高质量技术服务。