北京七星华创电子股份有限公司　　　　

　　太阳能发电网讯：2012年11月15日，由SEMI中国和北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)联合举办的，2012泛半导体产业媒体沙龙活动在七星电子总部举行。

　　七星电子张总致欢迎词，并向媒体简单介绍了七星电子。北京七星电子成立于2001年，于2012年3月在深交所成果上市，是一家以集成电路制造工艺技术为核心，以大规模集成电路制造设备、混合集成电路和电子元件为主营业务，集研发，生产，销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。

　　七星电子空港IC研发中心刘总介绍：“七星电子研制的国内首台300mm立式氧化炉设备，应用于集成电路生产线90/65mm工艺中的20~1000埃氧化膜生长及退火等工艺”。

　　七星电子应用在超大规模集成电路硅片制成的铜互连工艺阶段的300mm65nm铜互连清洗设备，其设备技术指标已达到国际同类产品先进水平。该设备采用单片多腔室结构，具有占地面积小、结构紧凑、高度自动化、超强稳定性等优点。

　　微电子设备分公司李总介绍：“七星电子在高效薄膜设备及工艺、晶硅自动化技术方面，已掌握核心技术，以良好的质量与服务装配了国内外多条生产线”。据了解，七星电子涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、PECVD、制绒清洗机、去PSG清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。尤其在光伏大规模生产线上得到大量使用，其技术水平、产能、成本控制及自动化程度都已达到世界领先水平。

　　七星电子研发的SSD8571A扩散炉，采用了高精度、智能化、多点控温技术，保证了对炉内温度控制的快速稳定，确保了控温数据的快速反应以及准确性。自动压力平衡装置，是炉内外压差为定值，且可根据工艺需求改变设定，从而提高了工艺均匀性以及工艺扩展性。设备单片COO下降20%，单位综合能耗下降20%以上，设备安全运行时间实属国内领先，设备维护成本低廉。在客户现场运行的实验数据一直处于国内领先水平，设置赶超国际一线厂商的水准。该设备实现了MES与设备端的数据交互。

　　同时，七星电子研发的SSP8471A管式PECVD为单管产能全球最高设备，电池片转换效率高，属于世界先进水平。该设备具有独特的射频引入方式，且全自动运行并预留倒片接口。设备工艺均匀性高，差异小于3%，配备了全自动上下料系统，碎片率≤0.1%(人为失误及隐裂片除外)。此外，UPTIME≥95%(总时间-政策维护时间-异常停机)/总时间。该设备也实现了MES与设备的数据交互。

　　关于北京七星华创电子股份有限公司

　　北京七星华创电子股份有限公司(简称“七星电子”)是国内知名电子专用设备供应商，是我国最早的半导体设备研制企业，是我国第一台半导体扩散炉、第一台等离子刻蚀机、第一台气体质量流量控制器研制企业，也是我国最早的半导体清洗设备研制企业，完成国内首条半导体生产线中6项关键设备的研发制造。

　　七星电子是国内重要的电子专用设备供应商，在集成电路制造设备、太阳能电池制造设备、TFT-LCD面板制造设备、电真空制造设备、锂离子电池设备和其他质量流量计主要技术和关键技术上市领军企业。

　　目前，七星电子已成长为我国电子专用设备龙头企业之一，是中国电子专用设备工业协会理事长单位、北京电子制造装备行业协会会长单位、SEMI行业协会会员。