史珺博士：多晶硅铸锭的加热和熔硅过程
多晶硅铸锭通常分为加热、熔料、高温稳定、结晶、退火、冷却等六个阶段。本文介绍加热和熔料两个过程。 （一）加热准备 装好料后，再对炉内进行一遍检查，即可开炉。一般来说，要先对炉子进行抽真空。真空泵逐级打开后，开始通电加温。抽真空的过程虽然
（二）硅料熔化硅料在熔化时，由于需要吸收大量的热量，因此，在熔点附近，温度上升会很慢。要注意，通常，硅的熔点是1414℃，但在熔化时，硅的温度通常要高出1420 ℃，才有可能使硅顺利熔化。否则，硅料可能发生熔化后，由于周围的硅还是固体，又开始凝固的现象，这就是为什么有时温度会出现上下反复的情况；因为，硅料在熔化时，有时局部在熔化后，温度会超出熔点很多，但周围可能还有没有熔化的硅块；当熔化的硅液流到硅块下面后，硅块又露出来，导致红外测温仪显示的温度又低于熔点。
这样的现象往往持续几个小时，持续的时间与加热器功率有关。有时，当绝大部分硅料熔化时，还有一些较大的硅块未熔化，一旦这些硅块漂到测温仪的视场中，则会发生红外测温仪显示的温度突然下降的现象，严重时甚至会使红外显示温度低于硅液温度50 ℃以上。此时，不要误解为硅液又凝固了，可能只是暂时的现象而已。
解决熔化不完全的方法就是一直加大功率到硅液完全熔化为止。通常，将硅液升温到1490 ℃，然后保持一段时间，待从红外测温仪看到硅液表面变得清澈以后，再开始降温。待硅液全部熔化后，即进入真空熔炼的过程了。
（三） 粉料的熔化
在铸锭的过程中，有时会遇到粉料。这些粉料通常是FDR循环流化床工艺中产生的。由于粉料的价格比较便宜，因此，不少铸锭厂家希望能够对粉料进行铸锭。对于粉料的处理，需要十分注意。因为，粉料在大气状态下很容易被真空泵所产生的气流带起来在炉内飞扬，硅粉飞扬不仅会造成硅料的浪费，在飞扬过程中硅粉还会沾在加热件、保温体上，这样，一旦这些硅粉熔化，很容易渗入石墨材料和保温材料，导致加热件和保温体损坏；此外，硅粉的飞扬会随着气体到真空泵力，导致真空泵的损坏。因此，在对粉料的熔炼过程中，要严防粉料的飞扬。
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