史珺博士：多晶硅铸锭的加热和熔硅过程
多晶硅铸锭通常分为加热、熔料、高温稳定、结晶、退火、冷却等六个阶段。本文介绍加热和熔料两个过程。 （一）加热准备 装好料后，再对炉内进行一遍检查，即可开炉。一般来说，要先对炉子进行抽真空。真空泵逐级打开后，开始通电加温。抽真空的过程虽然
为了解决这个问题，首先要了解粉料在什么情况下容易飞扬。粉料的飞扬一般在三个阶段下容易产生。第一个阶段，是开始抽真空的瞬间。粉料放在坩埚里，粉料颗粒的间隙均是大气。在开始抽真空的时候，炉内的气压受机械泵的作用突然减小，颗粒间的气体会因压力差的作用向上运动形成气流，这些气流的力量有时很大，会带动硅粉飞扬。
为了避免这个问题，对于粉料，在开始抽真空时，不能像普通的块料那样直接用机械泵大力抽，而应当将阀门先关闭，然后慢慢打开，最好是关闭主管道，采用一个旁路的细管道，用细管道上的调节阀，从关闭到打开，逐渐增大，这样，抽真空时，炉内的压力会比较缓慢地下降，不会产生突然的压降，从而解决硅粉飞扬的问题。
到真空压力降到100 Pa以下时，由于压力低，气体对硅粉的浮力很小，就可以逐步打开主管道的阀门，采用正常的阀门抽气，这时，因为气流的力量已经很小，不足以再将气体带出，因此，可以全力抽真空。
第二个阶段，是硅料升温到大约1000 ℃左右的阶段。首先，900 ℃以上，硅粉就会产生烧结现象，而由于硅粉的导热性很差，可以说几乎是绝热材料，因此，当红外测温仪测量到硅粉温度到1000 ℃左右的时候，坩埚侧面的温度可能已经达到接近熔化的问题，甚至已经开始融化，溶化的硅遇到周围的硅粉又会凝固而结壳；而这时，坩埚最中央部分的硅粉由于绝热作用，温度可能才100 ℃不到，这样，硅粉中吸附的水分以及气体，还没有完全释放。当外部硅粉结壳形成封闭体的时候，随着内部硅粉温度的逐渐上升，气体膨胀，压力增加，在硅粉内部逐渐形成封闭的高压球团，当压力到达一定程度，就会发生爆裂；或者虽然内部本身的压力没有达到爆裂压力，但结壳后，由于加热体的作用使得壳体再次熔化变薄后，内部的气体会爆冲出来，产生气流，将硅粉四溅。
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