太阳能电池转换效率提高1成 通过雾化实现无等离子损伤的高速成膜
“太阳能电池的转换效率最大提高了1成”——。东芝三菱电机产业系统开发出了通过将原料制成雾状来形成薄膜的雾化CVD（化学气相沉积）装置“TMmist”。由于采用非真空工艺、不使用等离子体，因此有望减少装置的设置面积和初期投资，并提高基材薄膜的特性。东芝三菱电机产业系统将瞄准太阳能
“太阳能电池的转换效率最大提高了1成”——。东芝三菱电机产业系统开发出了通过将原料制成雾状来形成薄膜的雾化CVD（化学气相沉积）装置“TMmist”。由于采用非真空工艺、不使用等离子体，因此有望减少装置的设置面积和初期投资，并提高基材薄膜的特性。东芝三菱电机产业系统将瞄准太阳能电池透明导电膜的成膜等用途，力争2014年度获得约10亿日元、2015年度获得约20亿日元的订单。用超声波雾化
使用真空工艺的已有溅射装置等需要真空室及真空泵等附属设备。随着基板的大型化，这些设备的设置面积及初期投资将会大幅增加。而且还无法避免等离子体给基材薄膜造成的损伤。
因此，东芝三菱电机系统将开发目标瞄准了利用非真空工艺、无等离子体损伤的成膜技术。该公司着眼于日本京都大学等研究的雾化CVD技术，以该技术为基础，从2007年开始致力于产品化。
TMmist大致由（1）将原料制成雾状的超声波喷雾器、（2）向生产线上流过的宽1m左右的基板供应雾状原料的细长整流喷嘴、（3）加热基板的加热器等构成（图1）。
图1：利用超声波使原料雾化
作者： 来源：日经技术在线 责任编辑：gaoting
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