日前，由中国航天科技集团公司八院航天机电太阳能公司承担的技术推广项目“连续式等离子体太阳电池减反射膜制备系统开发”，顺利通过了国家国防科工局和中国航天科技集团公司验收。该项目完成了PECVD系统集成的研制和配套工艺技术研究，突破了大型真空腔的工业化制造、大面积线性微波等离子源技术和多层镀膜均匀性等关键技术，生产效率比要求指标提高了50%，申报了6项专利，其中发明专利3项，并形成了一批工艺诀窍。


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