太阳能发电网讯 日前，东方集成在上海某研究所成功安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统。SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备，用于在基片上沉积 SiOx, SiOxNy或 SiNy薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。

　　据介绍，这是带LOADLOCK的SI500D等离子沉积系统在中国的第一次安装。SENTECH ICP-PECVD设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由SENTECH和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。
　　北京东方中科集成科技股份有限公司（简称“东方集成”）是在中关村科技园区注册的高新技术企业，是中国电子测试与科学分析领域领先的综合服务商，是SENTECH中国区的重要战略合作伙伴。公司客户涉及工业电子制造、文教科研、通信以及信息技术、微电子、新能源、生物医药等多个领域，通过与知名厂商的合作，为客户提供产品增值销售、应用解决方案、科技租赁、计量校准、维修维护和科技资产外包管理等综合服务。